本技术涉及一种在真空装置中的种子杆驱动机构的水电连接机构。目前,已知单晶炉设备种子晶杆驱动机构中的旋转水电连接结构庞大。滑环轴承、橡胶圈、压力盖等大部分部件用于实现轴水冷密封。不仅轴密封不可靠,结构变大,安装和维护不方便。
针对上述技术问题,为解决水电两用种杆传动机构安装和维护不方便的问题,英智科技提供了一种水电连接机构,整体合理紧凑。 操作简单。 为了实现上述目,本发明包括旋转接头、连接板、固定框架、水管和导电滑环,其中导电滑环安装在晶种轴上,且内环固定在晶种轴上, 导电滑环的旋转接头和外环分别通过连接板固定在固定架上,旋转接头上的进水口与进水管连接,出水口与出水管连接。 本技术的有利效果是通过使用穿过旋转接头和种子轴的水管来实现种子轴的冷却。 采用内环旋转、外环不旋转的旋转接头和导电滑环,实现种子轴旋转时的电与水的连接,方便水管和电缆的安装和维护。
针对上述技术问题,为解决水电两用种杆传动机构安装和维护不方便的问题,英智科技提供了一种水电连接机构,整体合理紧凑。 操作简单。 为了实现上述目,本发明包括旋转接头、连接板、固定框架、水管和导电滑环,其中导电滑环安装在晶种轴上,且内环固定在晶种轴上, 导电滑环的旋转接头和外环分别通过连接板固定在固定架上,旋转接头上的进水口与进水管连接,出水口与出水管连接。 本技术的有利效果是通过使用穿过旋转接头和种子轴的水管来实现种子轴的冷却。 采用内环旋转、外环不旋转的旋转接头和导电滑环,实现种子轴旋转时的电与水的连接,方便水管和电缆的安装和维护。 推荐阅读:
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